White fused alundum aloxide WA for semiconductor polishing
White fused alumina was made from the high quality alumina by melting above 2000 in the electric arc furnace and cooling. It is white with the main crystal phase alpha-Al2O3.
FEPA standard micropowder particle size comparison table
JIS standard micropowder particle size comparison table | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Size | D0 | D3 | D50 | D94 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 240# | ≤127 | ≤103 | 57±3.0 | ≥40 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 280# | ≤112 | ≤87 | 48±3.0 | ≥33 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 320# | ≤98 | ≤74 | 40±2.5 | ≥27 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 360# | ≤86 | ≤66 | 35±2.0 | ≥23 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 400# | ≤75 | ≤58 | 30±2.0 | ≥20 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 500# | ≤63 | ≤50 | 25±2.0 | ≥16 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 600# | ≤53 | ≤41 | 20±1.5 | ≥13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 700# | ≤45 | ≤37 | 17±1.5 | ≥11 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 800# | ≤38 | ≤31 | 14±1.0 | ≥9 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1000# | ≤32 | ≤27 | 11.5±1.0 | ≥7 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1200# | ≤27 | ≤23 | 9.5±0.8 | ≥5.5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1500# | ≤23 | ≤20 | 8±0.6 | ≥4.5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2000# | ≤19 | ≤17 | 6.7±0.6 | ≥4.0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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